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FBM-160氟離子濃度分析儀在半導體廠總排口的應用

2018-10-14，星期日

1. 背景介紹

上海市某半導體廠，專注于研發(fā)和制造應用的晶圓。晶圓生產(chǎn)工藝復雜，其中蝕刻工序使用氫氟酸溶液進行蝕刻、并用高純水清洗，在這個工序中產(chǎn)生了大量的高濃度含氟廢水，含氟廢水經(jīng)過加藥、混凝沉淀處理后達標排放。

該半導體廠在總排口處安裝了一臺FBM-160氟離子濃度分析儀。根據(jù)國標《污水綜合排放標準》（GB8978-1996）以及上海市環(huán)境保護局發(fā)布的地方標準《半導體行業(yè)污染物排放標準》（DB31），該半導體廠執(zhí)行三級標準，其總排口的氟限值為20 mg/L。

氟離子濃度分析儀的現(xiàn)場圖如下圖所示，控制器采用管式安裝，電極采用浸入式安裝。

FBM-160氟離子濃度分析儀在半導體廠總排口的應用

2. 應用情況

FBM-160 氟離子濃度分析儀采用氟離子選擇電極法，監(jiān)測方法符合國標GB7484-1987。氟離子濃度分析儀結構簡單，氟離子電極現(xiàn)場采用浸入式安裝，在無選配自動清洗組件的前提下，每月人工清洗一次電極，三個月校準一次電極。在正常維護條件下，每年更換一次氟離子電極?，F(xiàn)場安裝方便，維護較簡單，測量值均低于20 mg/L，和實驗室比對數(shù)據(jù)良好，符合用戶的測量要求。

3. 總結

FBM-160氟離子濃度分析儀采用國標方法監(jiān)測——氟離子選擇電極法，不消耗試劑，可更換電極頭，減少維護費用；安裝簡單，可在現(xiàn)場采用浸入池中安裝，也可以在排口采用流通式安裝?？蛇x配自清洗組件，減少用戶的人工清洗工作；具備多個量程，0~99.9 mg/L；0~999 mg/L 或0~9990 mg/L，滿足含氟廢水進排口的不同測量范圍需求。

FBM-160氟離子濃度分析儀廣泛應用于電子行業(yè)的含氟廢水監(jiān)測，在正常維護下，能夠滿足用戶廢水總排口的測量需求。

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