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Orbisphere 510微量溶解氧在電子廠的應(yīng)用

2020-11-25，星期三

1.背景介紹

在半導(dǎo)體行業(yè)，純水中溶解氧的含量直接關(guān)系到產(chǎn)品品質(zhì)，若水質(zhì)不良，會(huì)造成產(chǎn)品污染而影響品質(zhì)。半導(dǎo)體行業(yè)一般選用脫氣膜去除溶解氧，通過憎水纖維膜將液相和氣相分開，再將氣相抽真空，使得氣體被去除；此時(shí)，液相中的氣體就會(huì)擴(kuò)散到氣相中，從而達(dá)到去除溶解性氣體的作用。

湖北武漢某電子廠純水工藝段在脫鹽后及終端分配單元前安裝了脫氣膜工藝，在脫氣膜后安裝在線510微量溶解氧分析儀，用于監(jiān)測脫氣膜后的溶解氧含量。

應(yīng)用情況

主要儀器及參數(shù)：510+31120溶解氧分析儀。儀器響應(yīng)時(shí)間短（7.2S），分辨率高（0.01ppb）。

Orbisphere 510微量溶解氧在電子廠的應(yīng)用

客戶反饋情況：510在HACH經(jīng)銷商的長期維護(hù)下，運(yùn)行正常，能夠正常、快速反應(yīng)脫氣膜后的溶解氧值。

2.總結(jié)

針對(duì)客戶現(xiàn)場工藝控制要求，510+31120微量溶解氧分析儀是一個(gè)很好的選擇，客戶滿意度高。

優(yōu)勢：510快速響應(yīng)能力（7.2S）及良好的重現(xiàn)性，專門為微量溶解氧設(shè)計(jì)的原理，簡單的維護(hù)操作，堅(jiān)固耐用的不銹鋼設(shè)計(jì)，耐壓最大可達(dá)200bar，是電子行業(yè)純水溶解氧監(jiān)測的首要選擇。

該案例的推廣價(jià)值：溶解氧是電子行業(yè)重要的監(jiān)測指標(biāo)，含量高低直接影響終端產(chǎn)品品質(zhì)。510微量溶解氧分析儀，在正常的維護(hù)情況下，響應(yīng)快，重現(xiàn)性及檢出限完全滿足現(xiàn)場測量需求，校準(zhǔn)快速，維護(hù)簡單， 是一款監(jiān)測電子行業(yè)純水溶解氧的高性價(jià)比的在線儀表。

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